真空應(yīng)用系統(tǒng)的幾個(gè)問(wèn)題
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1.真空元件,如閥門(mén)、進(jìn)氣管路、真空泵等相互連接時(shí), 應(yīng)盡量做到抽氣管路短,管道直徑盡量不低于主泵入口直徑,并且管路中盡量少用彎頭尤其是直角彎頭。這是真空系統(tǒng)使用的一條重要原則。2.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料
2.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料應(yīng)盡量采用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中的無(wú)縫鋼管和板材,并盡量減少焊縫數(shù)目,用于焊接的鋼材一般為20 鋼或者Q235-A.F 鋼(A3 鋼)。尤其需要注意的是:接入真空系統(tǒng)的管路應(yīng)當(dāng)清理干凈,并且接入的管路壁厚不應(yīng)當(dāng)過(guò)薄,過(guò)薄的管路在粗真空條件下進(jìn)行抽氣作業(yè)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較強(qiáng)的共振。
3.真空系統(tǒng)操作規(guī)則:
a. 起動(dòng)機(jī)械泵時(shí),首先要保證轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)方向正確,而且油位合乎要求。
b. 油封機(jī)械泵停止后,立即將機(jī)械泵入口通大氣。因泵內(nèi)真空會(huì)使泵油進(jìn)入系統(tǒng)中。
c. 盡量不要用機(jī)械泵把高真空室直接抽至低于10Pa(0.1Torr)壓強(qiáng),否則機(jī)械泵的油蒸氣會(huì)進(jìn)入高真空室。因?yàn)樵趬簭?qiáng)低于10Pa 時(shí),會(huì)出現(xiàn)分子性氣流,油分子將會(huì)返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下,則應(yīng)當(dāng)設(shè)置油分子捕集器。
d. 不應(yīng)當(dāng)使機(jī)械泵在大氣壓強(qiáng)下或者較高壓強(qiáng)下連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作,否則電機(jī)會(huì)過(guò)熱,而且泵會(huì)噴出油霧。
e. 在擴(kuò)散泵(或油增壓泵)通大氣之前,應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度,防止高溫下的泵油氧化。
f. 使用電離計(jì)時(shí),應(yīng)當(dāng)在壓強(qiáng)達(dá)到0.1 Pa 以下時(shí)再起動(dòng)電離真空計(jì),以防止電離計(jì)燒毀。
g. 高真空系統(tǒng)系統(tǒng)需要停止使用時(shí),盡量將真空室及主泵在真空狀態(tài)下封存,以縮短下一次使用時(shí)的抽氣時(shí)間。
h. 系統(tǒng)冷卻水壓力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤,過(guò)低的壓力會(huì)造成冷卻水流通不暢,過(guò)高的壓力會(huì)導(dǎo)致漏水或泵水隔套被壓破等故障。泵內(nèi)的油在添加時(shí)一定要使用1#真空油。