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    真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍和特點(diǎn)以及真空計(jì)選用原則

    真空計(jì)測(cè)量范圍壓力測(cè)量中,除極少數(shù)直接測(cè)量外,絕大多數(shù)是間接測(cè)量。就是先在被測(cè)氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測(cè)量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn),亦會(huì)造成某些問題
    真空計(jì)測(cè)量范圍
    壓力測(cè)量中,除極少數(shù)直接測(cè)量外,絕大多數(shù)是間接測(cè)量。就是先在被測(cè)氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測(cè)量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn),亦會(huì)造成某些問題。
    任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才較顯著,超出這個(gè)范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測(cè)量范圍,這個(gè)范圍就是真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程,是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個(gè)數(shù)級(jí)(105~10-14pa),沒有任何一種真空計(jì)能測(cè)量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計(jì)在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要造成較大的誤差。
    在被測(cè)空間引起一定物理現(xiàn)象,還會(huì)出現(xiàn)這樣的問題,即從測(cè)量的角度出發(fā),本需要一種單純的物理現(xiàn)象,但有時(shí)卻不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象,這些寄生現(xiàn)象不但給測(cè)量量帶來誤差,有時(shí)還會(huì)“喧賓奪主”,完全把主要現(xiàn)象掩蓋住了。
    由上觀之,為改善真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度,必須突出主要現(xiàn)象,抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍。
    表1 一些真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍
    真空計(jì)名稱 測(cè)量范圍(Pa) 真空計(jì)名稱 測(cè)量范圍(Pa)
    水銀U型管 105~10
    高真空電離真空計(jì) 10-1~10-5
    油U型管 104~1
    高壓力電離真空計(jì) 102~10-4
    光干涉油微壓計(jì) 1~10-2
    B-A計(jì) 10-1~10-8
    壓縮式真空計(jì)(一般型) 10-1~10-3
    寬量程電離真空計(jì) 10~10-8
    壓縮式真空計(jì)(特殊型) 10-1~10-5
    放射性電離真空計(jì) 105~10-1
    彈性變形真空計(jì) 105~102
    冷陰極磁放電真空計(jì) 1~10-5
    薄膜真空計(jì) 105~10-2
    磁控管型電離真空計(jì) 10-2~10-11
    振膜真空計(jì) 105~10-2
    熱輻射真空計(jì) 10-1~10-5
    熱傳導(dǎo)真空計(jì)(一般型) 102~10-1
    分壓力真空計(jì) 10-1~10-14
    熱傳導(dǎo)真空計(jì)(對(duì)流型) 105~10-1
    真空測(cè)量特點(diǎn)
    (1)測(cè)量壓力范圍寬,105~lO-14Pa。
    (2)大部分真空計(jì)是間接測(cè)量,只有壓力為105~lOPa時(shí),可直接測(cè)單位面積所受的力。但大多數(shù)真空測(cè)量的壓力遠(yuǎn)比上述為小,不能直接測(cè)量,應(yīng)利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導(dǎo)、粘滯性和電離等)進(jìn)行間接測(cè)量。
    (3)多采用非電量電測(cè)技術(shù)。
    (4)大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分.否則會(huì)造成很大誤差。
    (5)測(cè)量精度不高。
    選擇真空計(jì)原則
    (1)在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。
    (2)被測(cè)氣體是否會(huì)損傷真空計(jì);真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來影響。
    (3)能測(cè)全壓力嗎?可校準(zhǔn)嗎?靈敏度與氣體種類有關(guān)否。
    (4)可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)短。
    (5)穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。
    (6)還要看真空計(jì)的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場(chǎng)有無銷售、購(gòu)買的難易程度和規(guī)格如何。
    除上述應(yīng)考慮的問題外,還要查閱參考書、樣本或直接向生產(chǎn)工廠詢問。
    真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍和特點(diǎn)以及真空計(jì)選用原則 2017-11-28 本文被閱讀 3874 次
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