真空計的分類及其適用量程范圍

壓力測量中，除極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量，進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。

　　1、真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。

　　2、真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。

　　3、相對真空計則是必須經(jīng)過真空計的校準(zhǔn)之后才能進(jìn)行真空度的測量。

　　任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才較顯著，超出這個范圍，關(guān)系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個數(shù)級(105～10-14 Pa)，沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。由上觀之，為改善真空計性能及提高真空測量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。

　　在較高壓力時(105～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。 在103～10-2 Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。